Salle propre

Salle propre

Mise en service en janvier 2005, et d’une superficie de 12 m², la salle sert essentiellement à la manipulation des cristaux de germanium sous flux laminaire (classe 100) dans un environnement à hygrométrie contrôlée proche de 30% d’humidité relative. La température y est également contrôlée (climatisée à 18°C ).

Evaporateurs dédiés

Evaporateurs dédiés

Pour éviter toute contamination en surface et en volume, les quatre bancs d’évaporation ne traitent chacun qu’un seul type d’élément

• Evaporation d’or (détecteur à barrière de surface et silicium compensé au lithium)
• Evaporation d’aluminium (détecteur à barrière de surface)
• Evaporation et diffusion de lithium (silicium compensé au lithium)
• Evaporation d’oxyde (détecteur à barrière de surface)
  

Polisseuse

Polisseuse

L’atelier semi-conducteurs possède quelques machines-outils qui permettent d’effectuer certaines opérations mécaniques sur les cristaux de silicium et germanium. Il s’agit :

• d’une polisseuse
  
• d’une scie diamantée pour les découpes de plaques de silicium et germanium
• de deux machines à foret diamantée pour réaliser des découpes circulaires de silicium et germanium, l’une pour des plaques d’épaisseurs faible (<800 µm) l’autre pour des plaques plus épaisses.
• d’une perceuse pour les supports de détecteurs ou adaptation de boîtiers.
  

Installation pour le traitement chimique des semiconducteurs :

Salle de chimie

Les procédés de fabrication des détecteurs nécessitent des traitements chimiques de surface utilisant des acides et des solvants Deux postes répondant aux normes de sécurité sont à la disposition du service pour fabriquer les détecteurs. Le service possède un système de récupération de rejets chimiques mis en place en collaboration avec le SQE du laboratoire.

De plus, le service posssède une centrale d’eau désionisée. Utilisée de longue date dans le service,elle a été entièrement revue en 2004 et fournit une eau purifiée de haute résistivité (jusqu’à 18 MW.cm) intervenant dans le process de fabrication des détecteurs, essentiellement le nettoyage et le rinçage des cristaux. La déminéralisation de l’eau de ville se fait à partir d’un système de trois cylindres fonctionnant sur des résines échangeuses d’ions.

Pour en savoir plus : http://www.veoliawater.com/

Banc de test de spectroscopie alpha, beta, gamma :

Détecteur Germanium

Détecteur alpha et Béta multivoies

4 installations de base sont disponibles pour réaliser la caractérisation et l’étalonnage des détecteurs silicium et germanium. Chacune est équipée d’un banc de pompage, d’une enceinte à vide, d’une chaîne de spectroscopie (préamplificateur de charge, amplificateur de mise en forme, convertisseur analogique digital et d’un logiciel de traitement de données adapté). En fonction des demandes, un système plus complexe peut être réalisé à partir de ces installations de base pour des tests spécifiques.

Détecteur alpha et Béta monovoie