Accueil du site > Activités scientifiques et techniques > Division Instrumentation et Informatique > R&D Détecteurs > Compétences du service RDD > The Semi conductor activities in the RDD department
L’activité :
Le service fabrique des détecteurs silicium adaptés aux
applications de physique, réalisés « sur mesure », avec des
technologies spécifiques aux caractéristiques demandées :
Le groupe s’investit également dans une mission d’accompagnement
dans le choix de détecteurs pour des expériences spécifiques. Il
intervient dans la conception et l’intégration de détecteurs
industriels en participant à la rédaction du cahier des charges et des
spécifications des détecteurs, assure leur suivi, de la commande à la
réception, réalise également les tests de validation en laboratoire
et participe à l’intégration sur site d’expérience.
Les membres du groupe ont en charge individuellement une ou
plusieurs technologies de réalisation mais tous ont la polyvalence
pour tester tout type de détecteurs Si ou Ge.
Les tests de maintenance font partie intégrante du travail du
groupe et quelle que soit leur provenance (interne, partenaire public
ou industriel), les détecteurs sont testés avant et après expériences.
Pour cela, le groupe possède un atelier dédié à ces activités :
Salle propre | |
Salle propre |
Mise en service en janvier 2005, et d’une superficie de 12 m², la salle sert essentiellement à la manipulation des cristaux de
germanium sous flux laminaire (classe 100) dans un environnement à hygrométrie contrôlée proche de 30% d’humidité relative. La température y est également contrôlée (climatisée à 18°C ). |
Evaporateurs dédiés | |
Evaporateurs dédiés |
Pour éviter toute contamination en surface et en volume, les quatre
bancs d’évaporation ne traitent chacun qu’un seul type d’élément
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Polisseuse | |
Polisseuse |
L’atelier semi-conducteurs possède quelques machines-outils qui permettent d’effectuer certaines opérations mécaniques sur les cristaux de silicium et germanium. Il s’agit :
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Installation pour le traitement chimique des semiconducteurs : | |
Salle de chimie |
Les procédés de fabrication des détecteurs nécessitent des
traitements chimiques de surface utilisant des acides et des solvants
Deux postes répondant aux normes de sécurité sont à la disposition du
service pour fabriquer les détecteurs. Le service possède un système
de récupération de rejets chimiques mis en place en collaboration
avec le SQE du laboratoire. De plus, le service posssède une centrale d’eau désionisée. Utilisée de longue date dans le service,elle a été entièrement revue en 2004 et fournit une eau purifiée de haute résistivité (jusqu’à 18 MW.cm) intervenant dans le process de fabrication des détecteurs, essentiellement le nettoyage et le rinçage des cristaux. La déminéralisation de l’eau de ville se fait à partir d’un système de trois cylindres fonctionnant sur des résines échangeuses d’ions. Pour en savoir plus : http://www.veoliawater.com/ |
Banc de test de spectroscopie alpha, beta, gamma : | |
Détecteur Germanium Détecteur alpha et Béta multivoies |
4 installations de base sont disponibles pour réaliser la
caractérisation et l’étalonnage des détecteurs silicium et germanium.
Chacune est équipée d’un banc de pompage, d’une enceinte à vide, d’une
chaîne de spectroscopie (préamplificateur de charge, amplificateur de
mise en forme, convertisseur analogique digital et d’un logiciel de
traitement de données adapté). En fonction des demandes, un système plus
complexe peut être réalisé à partir de ces installations de base pour
des tests spécifiques. Détecteur alpha et Béta monovoie |
Contact
: A. Torrento
Institut de Physique Nucléaire Orsay - 15 rue Georges CLEMENCEAU - 91406 ORSAY (FRANCE) |
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