Dans une collision dite de haute vitesse (comparée aux vitesses des électrons sur leurs couches), on distingue trois types de processus : l’ionisation correspond à la perte d’un électron, l’excitation est la promotion d’un électron sur un état électronique excité et enfin la capture électronique correspond au transfert d’un électron entre les partenaires de la collision.

L’ionisation est le processus le plus probable. Les sections efficaces de ce processus augmentent fortement avec la taille de la molécule. Les processus d’ionisation multiple deviennent en particulier importants. Ils sont sensibles à la géométrie de la molécule impliquée.