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Compétences et Equipements

TECHNIQUES DE FABRICATION :

Plusieurs techniques sont développées pour élaborer ces cibles. Sur la demande du client et après fabrication, les mesures d’épaisseurs exactes des cibles réalisées pourraient être fournies.
Les différentes techniques de fabrications disponibles sont :

1) Arc électrique :

Cette méthode n’est utilisée que pour les couches minces en carbone.

  • Surface maximale : 108 cm2
  • Epaisseurs standards : 0,025 à 5 µm

Banc carbone

2) Evaporation par effet Joule :

  • Surface maximale : 80 cm2
  • Epaisseurs standards : 0,025 à 5 µm

Banc Effet Joule

3) Bombardement électronique :

Cette méthode est adaptée pour la fabrication des cibles d’isotopes purs 

  • Surface maximale : 20 cm2
  • Epaisseurs standards : selon la nature de l’isotope et la surface

Banc Bombardement électronique

4) Canon à électrons :

Ce système est équipé de 4 creusets ce qui permettra de réaliser des cibles minces multicouches.

  • Surface maximale : 900 cm2
  • Epaisseurs standards : 0,025 µm à 10 µm

banc Canon à électrons

banc Canon à électrons

5) Solutions chimiques (Polymères) :

Pour ce procédé 3 techniques sont utilisées : tournette, trempage et dépôt direct

  • Surface maximale : 0,1 µm à 108 cm2
  • Epaisseurs standards : 5 µg/cm2 à 100 µg/cm2

6) Laminage à froid :

  • Surface maximale < 10 cm2
  • Épaisseurs standards : > 1 µm

Laminoir

Equipements de mesure d’épaisseur :

1) Mesure par perte d’énergie alpha :

Epaisseurs standards mesurées > 1µm

2) Balance de précision :

Permet de connaitre l’épaisseur précise en µg/cm² grâce à un témoin pesé avant et après dépôt.
Précision µg/cm²

3) Profilomètre mécanique :

Cet équipement sonde la surface à l’aide d’une pointe. Il n’est utilisé que sur les surfaces métalliques. Le support doit être plat.

Epaisseurs standards mesurées < 0.025µm


 

IPN

Institut de Physique Nucléaire Orsay - 15 rue Georges CLEMENCEAU - 91406 ORSAY (FRANCE)
UMR 8608 - CNRS/IN2P3

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